Herstellung eines strukturierten Wafers - Seminar / Kurs von SBH Südost GmbH

Praxisseminar (5 Tage)

Inhalte

Die Teilnehmer stellen einen strukturierten Wafer mit allen notwendigen Prozessen, unter industriellen Reinraumbedingungen her. Die Teilnehmer müssen zwingend über Kenntnisse der Halbleiterprozesse verfügen.

 

Lehrgangsinhalte:

  • Einsatz der Verfahren Lithografie (incl. belacken, belichten, entwickeln, tempern)
  • Ätzen (Nassätzen SIO2, veraschen Lack)
  • Reinigung sauer /Basisch
  • Lackentfernung mit Lösungsmittel
  • n-Diffusion mit POCL3
  • Sputtern Titan
  • Sputtern Aluminium
  • Messverfahren
  • Wafertest

Zielgruppen

Mitarbeiter aus der Halbleiterindustrie oder aus Unternehmen mit lithografischen Prozessen.

Termine und Orte

Datum Dauer Preis

SG-Seminar-Nr.: 5405433

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