Grundlagen der Frontend Einzelprozesse - Seminar / Kurs von SBH Südost GmbH

Praxisseminar (3-5 Tage)

Inhalte

Die Teilnehmer bekommen einen Überblick über die Einzelverfahren, anhand von praktischen Versuchen und Vorführungen im Ausbildungsreinraum.

 

Lehrgangsinhalte:

 

  • Einführung
  • Frontend Einzelprozess am Beispiel Modulaufbau
  • Waferreinigung
  • Thermische Oxidation
  • Lithografie
  • Ätzen
  • Dotierung
  • Schichtabscheidung
  • DMP
  • Cu-Metallisierung
  • Prozess-Messtechnik
  • Wafer-Messtechnik

 

Zielgruppen

Interessierte Mitarbeiter aus Halbleiterfabriken und deren Zulieferer, die sich einen Überblick über die Einzelverfahren, der Frontendprozesse verschaffen wollen um damit die Prozesse aller Abteilungen einer Halbleiterfabrik besser verstehen zu können,

Termine und Orte

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SG-Seminar-Nr.: 5405431

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